APPLICAZIONI DEI MEMS

Ci sono numerosi possibili applicazioni per i MEMS e la nano-tecnologie. Come una tecnologia di rottura, permettendo una non parallela sinergia tra precedenti non relativi campi come la biologia e la microelettronica, molti nuovi MEMS e applicazioni della nanotecnologia potranno emergere allargando oltre quelli che e' correntemente identificato o conosciuto. Qui di seguito alcune applicazioni di interesse:

Biotecnologia

I MEMS e la nano-tecnologia stanno permettendo nuove scoperte nelle scienze e nella ingegneria come i micro-sistemi PCR ( Polymerase Chain Reaction) per la identificazione e amplificazione del DNA, i microscopi STMs (Scanning Tunneling Microscopes), i biochip per la rilevazione di agenti chimici e biologici pericolosi, e micro-sistemi per lo screening e selezioni di droghe pesanti

Telecomunicazioni

I circuiti ad alta frequenza potranno beneficiare considerevolmente dall'avvento della tecnologia dei RF-MEMS. I componenti come induttori e capacitori variabili possono essere migliorati significativamente confrontati con il loro controparte integrata se sono realizzati usando i MEMS e la nano tecnologia. Con la integrazione di questi componenti, le performance dei circuiti di comunicazione potrà migliorare, mentre la area totale dei circuiti, il consumo dei potenza e il costo potranno essere ridotti. In più, l'interruttore meccanici, sviluppati da molti gruppi di ricerca, e' un componente chiave con enormi potenzialità nei circuiti a microonde. I campioni dimostrativi degli interruttori meccanici hanno un fattore di merito molto più alto che qualunque cosa precedentemente disponibile. L'affidabilità e l'inscatolamento dei componenti MEMS a radio frequenza sembrano essere i due problemi critici che bisogna risolvere prima che essi ricevano una larga richiesta dal mercato

Accelerometri

I MEMS accelerometri stanno velocemente sostituendo gli accelerometri convenzionali negli air-bag nelle automobili. L'approccio convenzionale usa diversi bulbi accelerometri realizzati con componenti discreti montati nella parte frontale della automobile con l'elettronica di controllo separata da essi e posta vicino agli air-bag. Questo approccio costa circa 50$ per automobile. I MEMS e la nano-tecnologia ha reso possibile integrare gli accelerometri e l'elettronica di controllo in un singolo chip con un costo tra 5$ e 10 $. Questi accelerometri EMS sono molto più piccoli, più funzionali, leggeri, affidabili, e sono prodotti con un costo pari ad una frazione del costo della produzione in larga scala degli accelerometri convenzionali La STMicroelectronics e' una delle maggiori aziende di silicio che sta realizzando innovativi dispositivi MEMS che trovano applicazione sia nell'automobile che nelle console per giochi ( figura 2)